News
PICOSUN™ P-300B eräajo-ALD-reaktorilla ennätystuloksia
Suomalainen, maailmanlaajuisesti toimiva huippuluokan atomikerroskasvatusjärjestelmien (ALD = Atomic Layer Deposition) valmistaja Picosun Oy on saavuttanut uuden virstanpylvään ALD-reaktorien suunnittelussa. Euroopan integroitujen piirien (IC) teollisuuden keskuksessa Dresdenissä, Saksassa toimivaan Fraunhofer IPMS:iin (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems) asennetulla PICOSUN™ P-300B ALD-eräajoreaktorilla on mitattu ennätysmäisen matalia partikkelipitoisuuksia, vain 1-2 partikkelia (> 70 nm) kiekolla. Myös prosessin toistettavuus ja kalvon epätasaisuus, ainoastaan 0,13 % 1σ parhaalle kiekolle, ovat huippuluokkaa. Puolijohde- ja IC-teollisuuden prosessien puhtausvaatimukset ovat maailman tiukimmat, ja Picosunin ALD-reaktorikonstruktiolla saavutetut tulokset asettavat täysin uudet laatustandardit koko ALD-järjestelmäteollisuudelle.
Fraunhofer IPMS tarjoaa, moderneine ja korkealuokkaisine puhdastilafasiliteetteineen, kokonaisvaltaista palvelua MEMS- ja MOEMS-teknologioiden kehittämiseen. Palvelut kattavat kaiken soveltuvuustutkimuksesta kokonaisiin tuotantoteknologioihin ja pilot-valmistukseen, mukaanlukien karakterisointi, kvalifiointi ja sopimusvalmistuspalvelut yksittäisille prosessivaiheille tai teknologiamoduleille.
“Olemme olleet äärimmäisen tyytyväisiä Picosunin ALD-reaktorin nopeaan toimitukseen, asennukseen ja erinomaiseen laatuun. Tehokkaalla eräajoprosessillaan Picosun täyttää tiukimmatkin defektitiheysvaatimuksemme”, toteaa Dr. Tom Richter Fraunhofer IPMS:stä.
Suomesta käsin maailmanlaajuisesti toimiva Picosun Oy kehittää ja valmistaa huippuluokan ALD-järjestelmiä mikro- ja nanoteknologiateollisuuden tarpeisiin. Picosuniin kiteytyy paras tietotaito suomalaisen ALD-innovaation alkuhetkistä lähtien. Tänä päivänä Picosun edustaa lähes neljän vuosikymmenen jatkuvaa, omistautunutta ja nousujohteista keskittymistä yksinomaisesti ALD-teknologiaan. Picosunin pääkonttori sijaitsee Espoossa, tuotantotilat Masalassa, Kirkkonummella, Yhdysvaltain pääkonttori Detroitissa, Michiganissa ja yrityksen ensimmäinen Aasian tytäryhtiö Picosun Asia Pte. Ltd. on juuri perustettu Singaporeen. PICOSUN™ ALD-järjestelmät ovat päivittäisessä tuotantokäytössä usealla eri teollisuuden alalla neljässä maanosassa.
Contact Details:
Minna Toivola, projektipäällikkö (email minna.toivola@picosun.com; tel. +358 40 758 8748)
Juhana Kostamo, toimitusjohtaja (email juhana.kostamo@picosun.com; tel. +358 50 321 1955)
* * *
Picosun Oy, Finland-based global manufacturer of state-of-the-art Atomic Layer Deposition (ALD) equipment, has again proven its unparalleled expertise in ALD reactor design and manufacturing. Record particle levels, only 1-2 added particles (> 70 nm) per wafer have been obtained with the PICOSUN™ P-300B ALD batch tool installed at Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (Fraunhofer IPMS) in the center of European IC manufacturing industry in Dresden, Germany. Also record-level process repeatability and film non-uniformity, down to 0.13 % 1σ for the best wafer, were achieved. The process purity requirements in semiconductor and integrated circuit industries are the strictest in the world, and these results obtained with Picosun’s ALD reactor construction set completely new standards to the whole ALD equipment industry when it comes to process quality.
Based on modern equipment in state-of-the-art clean room facilities Fraunhofer IPMS offers complete service in developing technologies for MEMS & MOEMS. Services range from feasibility studies to the development of complete production technologies and pilot-fabrication, including characterization, qualification and foundry services for individual steps in the process or for technology modules.
“We have been extremely pleased with Picosun’s fast tool delivery and installation and the excellent tool quality. With its efficient wafer batch process Picosun meets our strict defect density requirements,” states Dr. Tom Richter from Fraunhofer IPMS.
Picosun Oy is a Finland-based global manufacturer of ALD systems, representing continuity to almost four decades of dedicated, exclusive ALD reactor design and manufacturing. Picosun’s global headquarters are located in Espoo, Finland, its production facilities in Masala, Kirkkonummi, its US headquarters in Detroit, Michigan, and its first Asian subsidiary Picosun Asia Pte. Ltd. has recently been established in Singapore. PICOSUN™ ALD tools are chosen for production by various industries across four continents.
Contact Details:
Minna Toivola, Project Manager (email minna.toivola@picosun.com; tel. +358 40 758 8748)
Juhana Kostamo, Managing Director (email juhana.kostamo@picosun.com; tel. +358 50 321 1955)